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S49 33/MT  質(zhì)量流量計

S49 33/MT 質(zhì)量流量計

簡要描述:

氣體質(zhì)量流量控制器(流量計)(Mass gas flow controller(meter))縮寫為MFC(MFM))是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。
S49 33/MT 質(zhì)量流量計系列(質(zhì)量流量控制器)特點:
*采用主體不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等;
*適用于各種腐蝕性氣體;
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準。

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S49 33/MT  質(zhì)量流量計系列特點:

*采用主體不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON、聚四氟乙烯等

*適用于各種腐蝕性氣體

*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準

*高精度

*重復(fù)性好

*響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠

*低壓降

*工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)

*操作使用方便,可任意位置安裝

*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制

S49 33/MT  質(zhì)量流量計主要應(yīng)用領(lǐng)域:

*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制

*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制

*各種形式的真空鍍膜設(shè)備

*環(huán)境檢測與分析設(shè)備

*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制

*特種材料表面處理裝置與燃燒控制

*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量,質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。

主要技術(shù)指標

質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣(N2)標定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標準狀態(tài)mL/min  (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準)

標準狀態(tài)L/min (升/分鐘) (SLM行業(yè)標準)

標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃

氣壓—101325 Pa

F.S (Full Scale):表示滿量程值

表1 技術(shù)指標

編號

項目

S49 33/MT

1

流量規(guī)格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)  L/min

(15,20,30) L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止位置

常閉

4

準確度

± 1.0% F.S

± 2.0% F.S

5

線性

±1.0 % F.S,±2.0 % F.S

6

重復(fù)精度

±0.2  %F.S

7

響應(yīng)時間

≤8 s(T95)

8

工作壓差范圍

(50 ~ 300) kPa; (10~30)L/min (100~300)kPa

9

耐壓

3 MPa  ﹑ 10 MPa

10

工作環(huán)境溫度

5℃ ~ 45℃

11

材料

不銹鋼316L

12

標準密封材料

Viton?﹑EPDM,  或其他

13

漏率

1×10-8 Pa.m3/s

14

接頭

Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),

軟管接頭Ф4mm~Ф10mm  或其它

15

輸入輸出信號

0 V ~ +5.00 V

(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)

16

電源

+15 V   50 mA

-15V  200 mA

17

外形尺寸 mm

134×134×38

18

重量      kg

1.2




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